在眾多參展企業中，我司與華科團隊共同打造的系列高性能精密主動減振系統精彩亮相，成為與會者關注的焦點。精密主動減振系統，具備優秀的隔振、減振、抗沖擊功能，適用于半導體制造、科學儀器、精密加工、生命科學、航天航空航海等各領域，尤其在晶圓生產制造環節發揮關鍵作用，能夠提供高性能地基隔振，并快速整定臺面在檢測與測量時運動沖擊帶來的波動，極大地提升晶圓生產效率和產品質量。目前，公司最新減振系統產品可以滿足X納米級光刻設備運行要求。