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超精密主動減振系統
"高性能主動減振技術"是保證半導體制造裝備、精密檢測設備、量測設備、超精密加工機床等超穩定工作的核心技術
Product Introduction
產品介紹

團隊歷時十余年,開展降減隔振頻率、減隔振動傳遞、穩承載平臺、集系統設計的系統性研究,
在負剛度、變阻尼和減隔振-穩姿協同方面具有獨創性成果, 研制40余種超精密減振器并形成標準,
性能媲美國際同類產品,相關成果獲國家技術發明二等獎、國家科技進步二等獎。

Technical advantages
技術優勢
  • 突破系統全局的
    抑振設計技術

    提出環境-載體-抑振裝置-抑振對象的耦合動力學建模與分析方法,發明全球首臺電磁扭轉動剛度測試設備,構建抑振裝置個性化設計、測評體系,實現了分析-設計-定制一體化系銃解決方案的突破。
  • 發明抑振-定位協同的
    位姿穩定控制技術

    揭示定位和抑振耦合機制,提出絕對位置和速度反饋的協同控割策略,發明傳感器測量帶寬拓展方法,控制帶寬向低頻拓展十倍頻程,抑振一定位平臺位姿穩定精度達納米級,國際最優。
  • 發明無源頻變阻尼的
    寬頻域抑振技術

    揭示了氣、液、磁多種介質和結構耦合作用的阻尼頻變機制,發明了等效絕對阻尼的無源頻變阻尼構型和結構,使共振區振幅降低90%以上,高預振動傳遞衰減速率接近-40dB/dec的極限。
  • 首創相斥磁性負剛度的
    近零頻率抑振技術

    提出相斥磁性負剛度抑振原理,發明了高承裁的近零頻率減隔振技術與裝置,噸級承載下固有頻率低至0.19Hz,是所見報道的國際最高水平。
Application scenarios
應用場景

超精密主動減振系統是保證高端制造設備、精密儀器設備穩定運行的關鍵,廣泛應用于半導體制造各環節。
當前,超精密主動減振系統處于“卡脖子”狀態,海外廠家市場占有率100%,我國長期空白。

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